Рентгенофлуоресцентный толщиномер W серии
W серия — рентгенофлуоресцентный толщиномер с поликапиллярной фокусирующей оптикой рентгеновского луча до 7,5 мкм — наименьший в мире размер места измерения для анализа толщины покрытия с помощью рентгенофлуоресцентного метода. Это делает толщиномер W идеальным для измерения таких образцов, как полупроводниковые пластины и печатные платы.
Для измерения характеристик в этом масштабе используется видео камера с 140-кратным увеличением; она сопровождается вторичной камерой с малым увеличением для просмотра образцов в реальном времени и макросъемки. Двухкамерная система обзора места измерения позволяет операторам рентгенофлуоресцентного толщиномера W видеть всю деталь, нажимать на изображение для увеличения с помощью камеры с высоким коэффициентом увеличения и точно определять деталь для программирования мест анализа и измерения.
Программируемый X-Y столик с погрешностью менее +/- 1 мкм по каждой оси используется для выбора и измерения нескольких точек; программное обеспечение Bowman для распознавания образов и функции автофокусировки также делают это автоматически. Возможность трехмерного картирования поверхности образца позволяет просмотреть топографию покрытия на детали, например, кремниевой пластине.
Стандартная конфигурация рентгенофлуоресцентных толщиномеров W серии включает оптику 7,5 мкм, трубку с молибденовым анодом (хром и вольфрам -опционально) и кремниевый дрейфовый детектор SDD высокого разрешения с большой рабочей площадью входлного окна, который обрабатывает более 2 миллионов отсчетов в секунду.
Рентгенофлуоресцентные спектрометры W серии — это 7-я модель в линейке рентгенофлуоресцентных толщиномеров Bowman. Как и другие анализаторы Bowman, он одновременно измеряет до 5 слоев покрытия и использует передовое программное обеспечение Xralizer для количественной оценки толщины и состава покрытия по флуоресцентному излучению. Программное обеспечение Xralizer сочетает в себе интуитивно понятные визуальные элементы управления с экономящими время ярлыками, широкими возможностями поиска и составления отчетов «одним щелчком». Программное обеспечение также упрощает создание пользователем новых приложений.
Рентгенофлуоресцентные толщиномеры W серии лучше всего подходят для клиентов с такими требованиями:
— Необходимость тестирования пластин, выводных рамок, печатных плат
— Автоматизация тестирования большого количества образцов или мест на одном образце
— Необходимость измерения очень тонких покрытий (<100 нм)
— Очень короткое время измерения (1-5 секунд)
— Гарантированное соответствие требованиям IPC-4552 A/B, 4553A, 4554 и 4556
— ГОСТ 9.302-88, ГОСТ 9.303-84, ГОСТ З55639-2013, ASTM B568, DIN 50987 и ISO 3497.
— Желание повысить производительность и эффективность
Технические характеристики
| Диапазон определяемых элементов | от Al13 до U92 |
| Трубка | 50 Вт Mo анод с капиллярной оптикой 7,5 мкм. (анод Cr или W — опция) |
| Детектор | SDD |
| Количество анализируемых слоев и элементов | 5 слоев (4 слоя покрытия+ основание) до 10 элементов в каждом слое, до 25 элементов одновременно |
| Фильтры/коллиматоры | 4 фильтра |
| Фокусное расстояние | Фиксированное |
| Управляющий ПК | на базе ОС Windows 10 prof. (или выше), подключение к анализатору 1 USB, не требует специализированного оснащения |
| Видео камера | 1/4″ (6 мм) CMOS- 1280×720 VGA разрешение, 250х (две камеры) или 45х (одна камера) |
| Увеличение | 140х оптическое и 7х цифровое, 9х опическое (макро вид) |
| Вес | 190 кг |
| Моторизированный столик |
XYZ перемещение: 300 мм х 400 мм х 100 мм XY столик 305 мм х 406 мм |
| Моторизированный столик (увеличенный) | по запросу |
| Внутренние размеры измерительной камеры | Высота: 100 мм, Ширина: 914 мм, Глубина: 735 мм |
| Габаритные размеры | Высота: 787 мм, Ширина: 940 мм, Глубина: 990 мм |
Для подбора анализатора под ваши задачи просьба заполнить Опросный лист.
*Комплектация, образцы, размеры…
