Рентгенофлуоресецнтный толщиномер M
Рентгенофлуоресцентный толщиномер M — это идеальный вариант для высокопроизводительных измерений толщины гальванического покрытия для самых мелких деталей. Поликапиллярная оптика в серии M более совершенна, чем в серии O, фокусируя рентгеновский луч до 7,5 мкм FWHM.
Для измерения характеристик в таком масштабе в комплект входит видео камера со 140-кратным увеличением и еще более высоким цифровым увеличением. При большем увеличении поле зрения становится более ограниченным, поэтому вторая камера делает макроизображение измеряемой детали. Система с двумя камерами позволяет операторам рентгенофлуоресцентного толщиномера М видеть всю деталь, нажимать на изображение для увеличения с помощью макро камеры и точно выбирать место измерения.
Высокоточный программируемый X-Y столик используется для выбора и измерения нескольких точек; программное обеспечение для распознавания образов также позволяет это делать автоматически. Система двухмерного картирования позволяет посмотреть топографию покрытия на поверхности детали, например, кремниевой пластины.
Стандартная конфигурация включает оптику 7,5 мкм и SDD-детектор высокого разрешения для обработки более высоких скоростей счета. Также в стандартную комплектацию входит программируемый X-Y столик. Оптическая система имеет близкое фокусное расстояние, поэтому образцы, измеряемые прибором серии M, должны быть плоскими.
Теперь доступен с моторизированным столиком увеличенного размера.
Рентгенофлуоресцентные толщиномеры М серии лучше всего подходят для клиентов с такими требованиями:
— Очень маленькие детали/детали, такие как полупроводники, разъемы или печатные платы.
— Необходимость тестирования большого количества образцов или мест на одном образце
— Необходимость измерения очень тонких покрытий (<100 нм)
— Очень короткое время измерения (1-5 секунд)
— Гарантированное соответствие требованиям IPC-4552 A/B, 4553A, 4554 и 4556
— ГОСТ 9.302-88, ГОСТ 9.303-84, ГОСТ З55639-2013, ASTM B568, DIN 50987 и ISO 3497.
— Желание повысить производительность и эффективность
Технические характеристики
| Диапазон определяемых элементов | от Al13 до U92 |
| Трубка | 50 Вт Mo анод с капиллярной оптикой 15 мкм |
| Детектор | SDD |
| Количество анализируемых слоев и элементов | 5 слоев (4 слоя покрытия+ основание) до 10 элементов в каждом слое, до 25 элементов одновременно |
| Фильтры/коллиматоры | 4 фильтра |
| Фокусное расстояние | Фиксированное (1.27 mm) |
| Управляющий ПК | на базе ОС Windows 10 prof. (или выше), подключение к анализатору 1 USB, не требует специализированного оснащения |
| Видео камера | 1/4″ (6 мм) CMOS- 1280×720 VGA разрешение, 250х (две камеры) или 45х (одна камера) |
| Увеличение | 140х оптическое и 7х цифровое, 9х оптическое |
| Вес | 70 кг |
| Моторизированный столик | 431 мм х 406 мм с перемещением 165 мм х 165 мм |
| Моторизированный столик (увеличенный) | по запросу |
| Внутренние размеры измерительной камеры | Высота: 137 мм, Ширина: 310 мм, Глубина: 340 мм |
| Габаритные размеры | Высота: 500 мм, Ширина: 450 мм, Глубина: 600 мм |
Для подбора анализатора под ваши задачи просьба заполнить Опросный лист.
*Комплектация, образцы, размеры…
